FPD外観検査機
画像処理アプリケーションソフトを複数組み合わせることにより、
最適で低コストかつ質の高い画像処理を実現しました。
微分干渉プリズムを用いた光学顕微鏡を使用し、
画像をクリアに取り込みます。
走行軸に検査カメラユニットを搭載することで省スペース化を
図り、さらにデュアル検査ヘッドとデュアルステージの採用で
検査の高速化を実現しました。


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